更新时间：2023-11-01
A3-SR系列反射式膜厚仪可用于测量半导体镀膜，手机触摸屏ITO等镀膜厚度，PET柔性涂布的胶厚等厚度，LED镀膜厚度，建筑玻璃镀膜厚度及其他需要测量膜厚的场合。
反射式膜厚测量仪
A3-SR 系列反射式膜厚测量仪可用于测量半导体镀膜，手机触摸屏ITO等镀膜厚度，PET柔性涂布的胶厚等厚度，LED镀膜厚度，建筑玻璃镀膜厚度及其他需要测量膜厚的场合。A3-SR系列可用于测量2纳米到3000微米的膜厚，测量精度达到0.1纳米。 在折射率未知的情况下，A3-SR 还可用于同时对折射率和膜厚进行测量。配手持式探头,A3-SR 可以用来一键式测量车灯罩表面硬化膜(包括过渡层)和背面的防雾层,精度达到0.02um, 只需1秒钟,还可以测量内饰件,外饰件的铝阳极氧化层和漆层的厚度,精度达到0.02um
此外，A3-SR 还可用于测量样品的颜色和反射率。样品光斑在1毫米以内。A3-SR进行测量简单可靠，实际测量采样时间低于1秒。配合我们的Apris SpectraSys 软件进行手动测量，每次测量时间低于5秒。Apris SpectraSys支持50层膜以内的模型并可对多层膜厚参数进行测量。Apris SpectraSys 软件还拥有近千种材料的材料数据库，同时支持函数型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光学（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型（Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。
同时，客户还可以通过软件自带数据库对材料，菜单进行管理并回溯检查测量结果。目标应用：半导体镀膜,光刻胶玻璃减反膜测量蓝宝石镀膜,光刻胶ITO 玻璃太阳能镀膜玻璃各种衬底上的各种膜厚，颜色测量卷对卷柔性涂布光学膜其他需要测量膜厚的场合
产品型号和系统设置：
产品型号 | A3-SR-200 |
产品尺寸
| W270*D217*（H90+H140） 测试支架 |
测试方式 | 紫外+可见+UV+VIS 反射(R) |
波长范围 | 250-1050纳米 |
光源 | 钨卤素灯+氘灯 卤素灯标称寿命10000小时,氘灯标称寿命1500小时 |
光路和传感器 | 光纤式(FILBER )+进口光谱仪 |
入射角 | 0 度 (垂直入射) (0 DEGREE) |
参考光样品 | 硅片 |
光斑大小 LIGHT SPOT | About 1 mm（标配，可以根据用户要求配置） |
样品大小 SAMPLE SIZE | 10 mm TO 300 mm (可以根据用户要求配置) |
膜厚测量性能指标（THICKNESS SPECIFICATION）：
产品型号 | A3-SR-200 |
厚度测量 1 Thickness范围 | 2 nm - 100 （200）um |
折射率 1（厚度要求） N | 50nm and up |
准确性 2 Accuracy | 2 nm 或0. 5% |
精度 3 precision | 0.1 nm |
1表内为典型数值, 实际上材料和待测结构也会影响性能
2 使用硅片上的二氧化硅测量，实际上材料和待测结构也会影响性能
3 使用硅片上的二氧化硅（500纳米）测量30次得出的1阶标准均方差,每次测量小于1秒.
软件(SOFTWARE)：
检测项目 | 标准型 |
层数 | 10 层 |
材料 | 表格型和函数型 |
粗糙度模型 | 有 |
反射/透射 | 反射型+透射型 |
材料库 | 表格型+函数型 |
入射角 | 垂直入射 |
折射率测量 | 有 |
