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反射式膜厚仪的测试原理和技术功能说明

发布时间:2021-06-23   点击次数:48次
  反射式膜厚仪可用于测量半导体镀膜,手机触摸屏ITO等镀膜厚度,PET柔性涂布的胶厚等厚度,LED镀膜厚度,建筑玻璃镀膜厚度及其他需要测量膜厚的场合。A3-SR-100S可用于测量2纳米到3000微米的膜厚,测量精度达到0.1纳米。 在折射率未知的情况下,A3-SR-100S还可用于同时对折射率和膜厚进行测量。配手持式探头,A3-SR-100S可以用来一键式测量车灯罩表面硬化膜(包括过渡层)和背面的防雾层,精度达到0.02um, 只需1秒钟,还可以测量内饰件,外饰件的铝阳极氧化层和漆层的厚度,精度达到0.02um
  反射式膜厚仪测量系统利用薄膜干涉光学原理,对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面,探头同位接收反射光线。TF200根据反射回来的干涉光,用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm,可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜,还可以测量n和k值。
  反射式膜厚仪的技术功能:
  微电脑控制系统,大液晶显示、PLC操作面板,方便用户进行试验操作和数据查看。
  严格按照标准设计的接触面积和测量压力,同时支持各种非标定制。
  测试过程中测量头自动升降,有效避免了人为因素造成的系统误差。
  支持自动和手动两种测量模式,方便用户自由选择。
  系统自动进样,进样步距、测量点数和进样速度等相关参数均可由用户自行设定。
  实时显示测量结果的较小值、平均值以及标准偏差等分析数据,方便用户进行判断。
  配置标准量块用于系统标定,保证测试的精度和数据一致性。
  系统支持数据实时显示、自动统计、打印等许多实用功能,方便快捷地获取测试结果。
  标准的USB接口,便于系统与电脑的外部连接和数据。
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