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反射式膜厚测量仪

更新时间:2021-07-18

简要描述:

SR系列反射式膜厚仪可用于测量半导体镀膜,手机触摸屏ITO等镀膜厚度,PET柔性涂布的胶厚等厚度,LED镀膜厚度,建筑玻璃镀膜厚度及其他需要测量膜厚的场合。

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反射式膜厚测量仪

SR系列反射式膜厚测量仪可用于测量半导体镀膜,手机触摸屏ITO等镀膜厚度,PET柔性涂布的胶厚等厚度,LED镀膜厚度,建筑玻璃镀膜厚度及其他需要测量膜厚的场合。SR可用于测量2纳米到3000微米的膜厚,测量精度达到0.1纳米。 在折射率未知的情况下,还可用于同时对折射率和膜厚进行测量。

此外,SR还可用于测量样品的颜色和反射率。样品光斑在1毫米以内。A3-SR进行测量简单可靠,实际测量采样时间低于1秒。配合我们的Apris SpectraSys 软件进行手动测量,每次测量时间低于5秒。Apris SpectraSys支持50层膜以内的模型并可对多层膜厚参数进行测量。Apris SpectraSys 软件还拥有近千种材料的材料数据库,同时支持函数型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光学(Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz),混合型(Maxwell Garnett, Bruggeman)EMA 等折射率模型。

同时,客户还可以通过软件自带数据库对材料,菜单进行管理并回溯检查测量结果。目标应用:半导体镀膜,光刻胶玻璃减反膜测量蓝宝石镀膜,光刻胶ITO 玻璃太阳能镀膜玻璃各种衬底上的各种膜厚,颜色测量卷对卷柔性涂布光学膜其他需要测量膜厚的场合



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