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反射式膜厚测量仪

更新时间:2023-11-01

简要描述:

SR系列反射式膜厚仪可用于测量半导体镀膜,手机触摸屏ITO等镀膜厚度,PET柔性涂布的胶厚等厚度,LED镀膜厚度,建筑玻璃镀膜厚度及其他需要测量膜厚的场合。

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反射式膜厚测量仪

SR系列反射式膜厚测量仪可用于测量半导体镀膜,手机触摸屏ITO等镀膜厚度,PET柔性涂布的胶厚等厚度,LED镀膜厚度,建筑玻璃镀膜厚度及其他需要测量膜厚的场合。SR可用于测量2纳米到3000微米的膜厚,测量精度达到0.1纳米。 在折射率未知的情况下,还可用于同时对折射率和膜厚进行测量。

此外,SR还可用于测量样品的颜色和反射率。样品光斑在1毫米以内。A3-SR进行测量简单可靠,实际测量采样时间低于1秒。配合我们的Apris SpectraSys 软件进行手动测量,每次测量时间低于5秒。Apris SpectraSys支持50层膜以内的模型并可对多层膜厚参数进行测量。Apris SpectraSys 软件还拥有近千种材料的材料数据库,同时支持函数型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光学(Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz),混合型(Maxwell Garnett, Bruggeman)EMA 等折射率模型。

同时,客户还可以通过软件自带数据库对材料,菜单进行管理并回溯检查测量结果。目标应用:半导体镀膜,光刻胶玻璃减反膜测量蓝宝石镀膜,光刻胶ITO 玻璃太阳能镀膜玻璃各种衬底上的各种膜厚,颜色测量卷对卷柔性涂布光学膜其他需要测量膜厚的场合.


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产品型号和系统设置:

产品型号

A3-SR-100

产品尺寸

W270*D217*H90+H140

产品图片


测试方式

可见VIS 反射(R)

波长范围

380nm - 1050 nm

光源

                                              进口 钨卤素灯 寿命10000小时

光路和传感器

光纤式(FILBER,进口 )+进口光谱仪

入射角

0 (垂直入射)  (0 DEGREE)

参考光样品

硅片

光斑大小

About 1 mm(标配,可以根据用户要求配置)

样品大小

10 mm TO 300 mm (可以根据用户要求配置)

 

光学测量技术参数(OPTICAL SPECIFICATION

测试方式

反射

 


 

膜厚测量性能指标(THICKNESS SPECIFICATION):

产品型号

A3-SR-100

厚度测量1

15nm - 100 um

折射率1(厚度要求)

大于100nm

准确性2

 2 nm 0. 5%

精度3

0.1 nm

1表内为典型数值, 实际上材料和待测结构也会影响性能

2 使用硅片上的二氧化硅测量,实际上材料和待测结构也会影响性能

3 使用硅片上的二氧化硅(500纳米)测量30次得出的1阶标准均方差,每次测量小于1.

 

软件(SOFTWARE)

检测项目

标准型

层数

10

材料

表格型和函数型

粗糙度模型

反射/透射

反射型+透射型

材料库

表格型+函数型

入射角

垂直入射

折射率测量

 


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