更新时间:2024-08-16
SR系列反射式膜厚仪可用于测量半导体镀膜,手机触摸屏ITO等镀膜厚度,PET柔性涂布的胶厚等厚度,LED镀膜厚度,建筑玻璃镀膜厚度及其他需要测量膜厚的场合。
反射式膜厚测量仪
SR系列反射式膜厚测量仪可用于测量半导体镀膜,手机触摸屏ITO等镀膜厚度,PET柔性涂布的胶厚等厚度,LED镀膜厚度,建筑玻璃镀膜厚度及其他需要测量膜厚的场合。SR可用于测量2纳米到3000微米的膜厚,测量精度达到0.1纳米。 在折射率未知的情况下,还可用于同时对折射率和膜厚进行测量。
此外,SR还可用于测量样品的颜色和反射率。样品光斑在1毫米以内。A3-SR进行测量简单可靠,实际测量采样时间低于1秒。配合我们的Apris SpectraSys 软件进行手动测量,每次测量时间低于5秒。Apris SpectraSys支持50层膜以内的模型并可对多层膜厚参数进行测量。Apris SpectraSys 软件还拥有近千种材料的材料数据库,同时支持函数型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光学(Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz),混合型(Maxwell Garnett, Bruggeman)EMA 等折射率模型。
同时,客户还可以通过软件自带数据库对材料,菜单进行管理并回溯检查测量结果。目标应用:半导体镀膜,光刻胶玻璃减反膜测量蓝宝石镀膜,光刻胶ITO 玻璃太阳能镀膜玻璃各种衬底上的各种膜厚,颜色测量卷对卷柔性涂布光学膜其他需要测量膜厚的场合.
产品型号和系统设置:
产品型号 | A3-SR-100 |
产品尺寸 | W270*D217*(H90+H140) |
产品图片 | |
测试方式 | 可见VIS 反射(R) |
波长范围 | 380nm - 1050 nm |
光源 | 进口 钨卤素灯 寿命10000小时 |
光路和传感器 | 光纤式(FILBER,进口 )+进口光谱仪 |
入射角 | 0 度 (垂直入射) (0 DEGREE) |
参考光样品 | 硅片 |
光斑大小 | About 1 mm(标配,可以根据用户要求配置) |
样品大小 | 10 mm TO 300 mm (可以根据用户要求配置) |
光学测量技术参数(OPTICAL SPECIFICATION)
测试方式 | 反射 |
膜厚测量性能指标(THICKNESS SPECIFICATION):
产品型号 | A3-SR-100 |
厚度测量1 | 15nm - 100 um |
折射率1(厚度要求) | 大于100nm |
准确性2 | 2 nm 或0. 5% |
精度3 | 0.1 nm |
1表内为典型数值, 实际上材料和待测结构也会影响性能
2 使用硅片上的二氧化硅测量,实际上材料和待测结构也会影响性能
3 使用硅片上的二氧化硅(500纳米)测量30次得出的1阶标准均方差,每次测量小于1秒.
软件(SOFTWARE):
检测项目 | 标准型 |
层数 | 10 层 |
材料 | 表格型和函数型 |
粗糙度模型 | 有 |
反射/透射 | 反射型+透射型 |
材料库 | 表格型+函数型 |
入射角 | 垂直入射 |
折射率测量 | 有 |