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反射式膜厚测量仪在薄膜厚度测量的应用

发布时间:2021-03-29   点击次数:278次
  某客户来料检测(PET单层膜/多层):厚度约为40~60μm。

  使用台阶仪或其他万分尺长度量测仪器,单层能到到准确的数值,操做简单,多层不能直接测量,要做出相对厚度,有台阶的样品或其他才可以测量。

  使用我们反射式膜厚测试,直接根据材料特性(单层/多层)设置好菜单,通过标准硅片校准后,直接一键量测,直接测量出单层/多层膜厚,不会对产品造成损伤,可以离线也可以在线量测。测量多层膜厚基本上不需要单独制样,只是在解析某一膜层折射率(材料库无信息)时有初次制样需求。

  反射式膜厚测量仪可用于测量:半导体镀膜,手机触摸屏ITO等镀膜厚度,PET柔性涂布的胶厚等厚度,LED镀膜厚度,建筑玻璃镀膜厚度及其他需要测量膜厚的场合。可测量:2nm到3000μm的膜厚,测量精度达到0.1nm。 在折射率未知的情况下,还可用于同时对折射率和膜厚进行测量。此外,设备也可用于准确测量样品的颜色和反射率。样品光斑在1mm以内。
  进行测量简单可靠,实际测量采样时间低于1秒。

  配合我们的专*软件进行手动测量,每次测量时间低于5秒。软件支持50层膜以内的模型并可对多层膜厚参数进行测量。我们软件拥有近千种材料的材料数据库,同时支持函数型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光学(Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz),混合型(Maxwell Garnett, Bruggeman)EMA 等折射率模型。

  同时,客户还可以通过软件自带数据库对材料,菜单进行管理并回溯检查测量结果。

苏州瑞格谱光电科技有限公司

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