反射式膜厚测量仪在薄膜厚度测量的应用

  使用台阶仪或其他万分尺长度量测仪器，单层能到到准确的数值，操做简单，多层不能直接测量，要做出相对厚度，有台阶的样品或其他才可以测量。

  使用我们反射式膜厚测试，直接根据材料特性（单层/多层）设置好菜单，通过标准硅片校准后，直接一键量测，直接测量出单层/多层膜厚，不会对产品造成损伤，可以离线也可以在线量测。测量多层膜厚基本上不需要单独制样，只是在解析某一膜层折射率（材料库无信息）时有初次制样需求。

  反射式膜厚测量仪可用于测量：半导体镀膜，手机触摸屏ITO等镀膜厚度，PET柔性涂布的胶厚等厚度，LED镀膜厚度，建筑玻璃镀膜厚度及其他需要测量膜厚的场合。可测量：2nm到3000μm的膜厚，测量精度达到0.1nm。 在折射率未知的情况下，还可用于同时对折射率和膜厚进行测量。此外，设备也可用于准确测量样品的颜色和反射率。样品光斑在1mm以内。
  进行测量简单可靠，实际测量采样时间低于1秒。

  配合我们的专*软件进行手动测量，每次测量时间低于5秒。软件支持50层膜以内的模型并可对多层膜厚参数进行测量。我们软件拥有近千种材料的材料数据库，同时支持函数型(Cauchy, Cauchy-Urbach,Sellmeier), 物理光学（Drude-Lorentz,Tauc-Lorentz）,混合型（Maxwell Garnett, Bruggeman）EMA 等折射率模型。

  同时，客户还可以通过软件自带数据库对材料，菜单进行管理并回溯检查测量结果。